新 聞
采用光阻玻璃鈍化工藝,具有如下優勢:
A:玻璃、Sipos (半絕緣多晶硅)、LTO (低溫氧化膜)三層鈍化保護,顯著提升了芯片的可靠性以及封裝良率。
B:先進的Photo Glass工藝,從技術上提升了芯片的可靠性。
光阻工藝
光阻工藝是指將玻璃粉和光阻劑按照一定比例配置成光阻玻璃,通過機器將玻璃粉均勻覆蓋到硅片,通過黃光作業方式保留PN結位置的玻璃,如圖示剖面圖: